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少子寿命测试仪

少子寿命测试仪的原理是采用微波光电导衰减法(SEMI标准-1535)的测试原理,即通过激光激发出硅体内的非平衡载流子,再通过微波反射的探测手段来测试少数载流子引起的电导率的变化,从而计算出少子寿命值,为半导体提供低成本、快速、无接触、无损伤的少数载流子寿命的测试。

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