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美能探针式台阶仪SP200
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表面微观特征是材料、化学、精密制造等领域的主要研究内容,准确地评价表面微观形貌、表面特征等,对于相关材料的评定、性能的分析和加工工艺的改善都具有重要意义。在半导体、光伏、LED、MEMS器件、材料等领域,表面台阶高度、膜厚的准确测量具有十分重要的价值,尤其是台阶高度是一个重要的参数,对各种薄膜台阶参数的精确、快速测定和控制,是保证材料质量、提高生产效率的重要手段。
优势规格 下载

出色的重复性和再现性

(1)单拱龙门式设计,结构稳定性优异,大大降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。;
(2)线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um 量程下可达0.01 埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。;

超微力恒力传感器:1-50mg可调

独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。

超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。

全自动XY载物台,Z轴自动升降、360°全自动θ转台

精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台,可以对样品的位置以及角度进行调节,三维位置均可以调节,利于样品调整,提高测量效率。

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