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Horiba 相位调制型椭圆偏振光谱仪 UVISEL Plus
Horiba 相位调制型椭圆偏振光谱仪 UVISEL Plus
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基于先进的电子设备,数据处理和高速单色仪,FastAcqTM技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集,双单色仪系统可达到0.1-2 nm。

AutoSoft软件界面以工作流程直观为特点,使得数据采集分析更加简便,易于非专业人员上手操作。

优势规格 下载

速度提升1.5倍

UVISEL Plus集成了先进的FastAcqTM快速采集技术,可在3分钟以内实现高分辨的样品测试(190-2100 nm),校准仅需几分钟。

灵敏度提升2倍

基于25年经验,UVISEL Plus相位调制椭偏仪提供纯正有效的偏振调制,可用于各种样品的精确测量,先进的FastAcqTM速采集技术使得测试灵敏度提高至原有的两倍,从而能获得面薄膜和纳米级低衬度衬底样品的更多信息。

灵活拓展

UVISEL Plus椭偏仪模块化设计,可灵活拓展,以适应的应用及预算需求。相较于其他供应商,UVISEL Plus统的可升级性能将更好的满足您未来的应用需求。

优质的性能

UVISEL Plus基于相位调制技术,相位调制与高质量消色差光学设计的特有结合提供了无可匹的膜厚测试效果。

信号采集过程无移动部件

光路中无增加元件

高频调制 50 kHz

测试全范围的椭偏角,Ψ (0-90,Δ (0-360)

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