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日立超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
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日立超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪,可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

优势规格 下载

超高分辨率冷场发射

为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍

沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪

采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的优质性能

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

采用污染小、高真空样品仓

运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度

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